В процессе плазменно-химического осаждения из паровой фазы (PECVD) каждое электрическое соединение, от передачи радиочастотной мощности до управления технологическим газом, напрямую влияет на равномерность осаждения тонких пленок и выход годных изделий. В условиях жесткой среды миниатюрного оборудования, высокого вакуума и сильных электромагнитных помех,ВАГОРазъемы picoMAX®, обладающие тремя основными преимуществами — «компактностью, надежностью и эффективностью», — стали идеальным решением для подключения систем PECVD.
Инновационный компактный дизайн
Адаптация к прецизионной компоновке камер
Внутреннее пространство оборудования PECVD ограничено, что требует плотного размещения силовых, сигнальных и измерительных линий вокруг реакционной камеры. В picoMAX® используется конструкция с одной пружиной и двойным действием, с возможностью выбора шага контактов 3,5/5,0/7,5 мм. После соединения он занимает на 30% меньше места, чем предыдущие изделия, идеально адаптируясь к требованиям к проводке вокруг камеры. Его разъем с отверстием практически полностью встроен в штыревой разъем, что позволяет устанавливать его бок о бок без потери контактов, значительно улучшая использование печатной платы и обеспечивая упорядоченное размещение сигнальных и силовых линий без помех для потока технологического газа.
Надежная защита от экстремальных условий эксплуатации.
Процессы PECVD включают в себя высокий вакуум, высокочастотную плазму и вибрационную среду, что предъявляет жесткие требования к надежности разъемов. Разъем picoMAX® обладает стабильной конструкцией с виброустойчивостью до 12g, предотвращая ослабление соединения, вызванное высокочастотной вибрацией. Он также включает в себя защиту от неправильного подключения и фиксирующее устройство, исключающее ошибки при установке и предотвращающее случайное отсоединение, обеспечивая непрерывную работу оборудования без простоев.
Быстрое соединение без инструментов
picoMAX® использует технологию быстрого соединения без инструментов, обеспечивая надежное соединение как одножильных, так и многожильных проводов с помощью холоднопрессованных разъемов. Сложные проводные соединения выполняются за один шаг, что значительно повышает эффективность сборки и сокращает циклы отладки. Модульная конструкция совместима с процессами пайки оплавлением, что отвечает потребностям автоматизированного производства в снижении затрат. Она также охватывает все сценарии соединения PECVD: шаг контактов 3,5 мм подходит для сигнальных проводов сечением 0,2-1,5 мм², а шаг контактов 5,0/7,5 мм поддерживает силовые линии 16 А. Поддерживаются методы монтажа проводов на плату и через стену, совместимость с проводкой в шкафах управления и полостях, а также соответствие стандартам электробезопасности GB/T 5226.1, обеспечивая надежную защиту стабильности процесса.
В полупроводниковой промышленности, где точность технологических процессов на нанометровом уровне имеет первостепенное значение, надежные соединения являются гарантией высокой производительности.ВАГОБлагодаря революционной концепции дизайна, технология picoMAX® обеспечивает «малый размер, высокую производительность» в компактном корпусе, предлагая стабильные, эффективные и долговечные решения для подключения оборудования PECVD. Это помогает производителям полупроводников преодолевать проблемы, связанные с высокоточными технологическими соединениями, гарантируя точность каждого чипа на микрометровом уровне.
Дата публикации: 13 марта 2026 г.